Ein Reinraum wird normaler weise für die Herstellung oder wissenschaft liche Forschung verwendet. Es ist eine kontrollierte Umgebung mit geringen Schadstoff werten wie Staub, Mikro organismen in der Luft, Aerosol partikeln und chemischen Dämpfen.
Um genau zu sein, wird der Verschmutzung sgrad eines Reinraums durch die Anzahl der Partikel pro Kubikmeter der angegebenen Partikel größe angegeben. Die Außenluft in einer typischen städtischen Umgebung enthält 35.000.000 Partikel pro Kubikmeter mit einem Durchmesser von 0,5 Mikrometer und größer, was dem ISO9-Reinraum entspricht. welches das niedrigste Niveau des Reinraum standards ist.
Der Reinraum sorgt für partikel freie Luft mithilfe von HEPA-oder ULPA-Filtern, die das Prinzip des laminaren oder turbulenten Luftstroms verwenden. Das laminare Strömungs-oder uni direktion ale Luftstroms ystem leitet die gefilterte Luft mit konstantem Luftstrom nach unten. Laminare Luftstroms ysteme werden normaler weise für 100% Decken verwendet, um einen konstanten uni direktion alen Luftstrom aufrecht zu erhalten. Laminar-Flow-Standards werden normaler weise in tragbaren Arbeits plätzen (LF-Gehäuse) festgelegt und sind in Reinräumen, die als ISO-1 für ISO-4 eingestuft sind, obligat orisch.
Die richtigeReinraum-SpritzgussDas Design umfasst das gesamte Luft verteilungs system, einschl ießlich der Bereitstellung einer angemessenen nach geschalteten Luft rückführung. In einem vertikalen Strömungs raum bedeutet dies die Verwendung einer nieder wand igen Luft umwälzung um den Bereich. Bei Anwendungen mit horizontalem Durchfluss ist die Verwendung einer Luft umwälzung an der nach geschalteten Grenze des Prozesses erforderlich. Die Verwendung von Rückluft, die in der Decke montiert ist, wider spricht dem korrekten Design des Reinraum systems.
1. Clean rooms werden nach der Sauberkeit der Luft klass ifi ziert
Im US Federal Standard 209 (A bis D) wird die Anzahl der Partikel von 0,5 μm oder mehr in einem Kubikfuß Luft gemessen, und Reinräume werden nach dieser Anzahl klass ifi ziert. Die neueste 209E-Version des Standards akzeptiert auch diese metrische Nomenklatur.
Der neuere Standard ist TC209 von der Internat ional Standards Organization. Beide Standards klassifizieren Reinräume anhand der Anzahl der in der Labor luft gefundenen Partikel.
Die Reinraum klassifizierung standards FS 209E und ISO 14644-1 erfordern spezifische Partikel zähl messungen und-berechnungen, um das Sauberkeit niveau eines Reinraums oder eines sauberen Bereichs zu klassifizieren. Der britische Standard 5295 wird zur Klassifizierung von Reinräumen verwendet.
2. Der Reinraum wird nach der Anzahl und Größe der zulässigen Partikel pro Luftvolumen klass ifi ziert
Große Zahlen wie "Klasse 100" oder "Klasse 1000" beziehen sich auf FED_STD-209E, was die Anzahl der Partikel mit einer Größe von 0,5 µm oder mehr pro Kubikfuß Luft angibt. Der Standard erlaubt auch die Interpolation, so dass beispiels weise "Klasse 2000" beschrieben werden kann.
Die kleine Zahl bezieht sich auf den Standard ISO 14644-1, der den Dezimal logarithmus der Anzahl der Partikel von 0,1 µm oder größer angibt, die pro Kubikmeter Luft zulässig sind. So hat beispiels weise ein Reinraum der ISO-Klasse 5 maximal 105 = 100.000 Partikel pro Kubikmeter.
Sowohl FS 209E als auch ISO 14644-1 nehmen eine logarith mische Beziehung zwischen Partikel größe und Partikel konzentration an. Daher gibt es keine Null partikel konzentration. Gewöhnliche Raumluft ist etwa Klasse 1.000.000 oder ISO 9.